產(chǎn)品詳情
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詳情介紹：
半導(dǎo)體制造設(shè)備密封圈是以苯基硅橡膠為材質(zhì)的環(huán)形密封件，具備優(yōu)異的耐高低溫性能（-120℃～300℃），適用于半導(dǎo)體設(shè)備高溫工藝（如外延爐密封）和高潔凈環(huán)境，壓力0-300MPa，速度≤15m/s，適用介質(zhì)包括液壓油、氣、水、酸堿等混合介質(zhì)；壓縮長(zhǎng)久變形率低（250℃下70小時(shí)后≤8%），確保長(zhǎng)期密封可靠性。
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